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恩樂科CO2 bubbler 二氧化碳發(fā)泡機 超純水防靜電裝置ELK-8000L，用于半導(dǎo)體晶圓劃片、清洗消除產(chǎn)品靜電，防止產(chǎn)品靜電損傷?？梢圆捎?拖10的方式，大大降低用戶成本。

產(chǎn)品功能：

二氧化碳發(fā)泡機，又稱co2 bubbler(超純水防靜電裝置、二氧化碳鼓泡機)，去離子水電阻率調(diào)節(jié)裝置，加碳機等。其原理是向高電阻率的純水中添加高純二氧化碳， 在水中產(chǎn)生適量的離子增強純水的導(dǎo)電性，降低純水的電阻率，防止在晶圓劃片制程、芯片清洗等半導(dǎo)體、TFT加工過程中產(chǎn)生靜電損傷產(chǎn)品，消除硅屑的靜電吸附便于清洗干凈， 最后烘干后二氧化碳揮發(fā)不殘留任何雜質(zhì)，不造成二次污染。超純水防靜電裝置和設(shè)備，可有效控制微電子工業(yè)生產(chǎn)制程中的靜電危害，防止靜電吸附導(dǎo)致產(chǎn)品因靜電放電受到損傷， 防止靜電破壞和微粒子的表面附著，大大提高產(chǎn)品良品率，降低生產(chǎn)成本。

設(shè)備原理： 
本公司經(jīng)過多年的研發(fā)和試驗，生產(chǎn)ELK 系列超純水防靜電裝置，本裝置全部采用進口優(yōu)質(zhì)材料和儀表，設(shè)計原理是通過膜接觸器來實現(xiàn)超純水的潔凈CO2 無污染注入。膜接觸器的特點是氣體可以透析式穿過膜表面均勻溶解到水里，而水和微粒雜質(zhì)卻很難透過膜。用這種特制膜將CO2 氣體和超純水隔開， 通過設(shè)備中的精密調(diào)節(jié)裝置可以控制CO2 在水中的溶解量， 從而實現(xiàn)精確控制水的電阻率。產(chǎn)品水的電阻率可以很方便且精確地調(diào)整到0.1-2MΩ?cm范圍內(nèi)。此產(chǎn)品可以消除產(chǎn)品表面產(chǎn)生的靜電對產(chǎn)品造成靜電吸附污染、靜電放電損傷等危害，大大提高了產(chǎn)品的良品率。該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于微電子和半導(dǎo)體行業(yè)。 
設(shè)備特點： 
1、全部材料采用純水管配件和儀表 
2、設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單緊湊， 占地少，安裝方便
3、零延遲響應(yīng)流量變化，保證產(chǎn)水電阻率的高穩(wěn)定性 
4、用氣省，耗電少，耗CO2少，節(jié)能環(huán)保 
5、極低用水流量情況下電阻率值的精確穩(wěn)定控制
6、全自己運自適應(yīng)混合方式，產(chǎn)品水的電阻率可以很方便且精確地調(diào)整到0.1-2MΩ?cm范圍內(nèi) 
7、純機械靜態(tài)方式工作，故障率極低 
8、采用最先進透氣膜方式無空氣切入， 產(chǎn)水品質(zhì)完全超越同類產(chǎn)品

9、支持一拖多模式，支持10-8000L/H流量和壓力變化工況下的電阻率值的精確穩(wěn)定控制
10、有數(shù)據(jù)和信號傳輸和儲存功能

型號：   

流量范圍：10-8000L/H

適用行業(yè)：

1、 微電路芯片切割和清洗2、光掩模切割和清洗 3、晶圓切割劃片和芯片清洗 4、半導(dǎo)體硅片切割和清洗

5、太陽能電池片切割和清洗 6、TFT面板切割和清洗 7、特殊工業(yè)的控制超純水電阻 8、光學鏡頭和耳機