“恩樂科”品牌二氧化碳發(fā)泡機產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品功能：

超純水防靜電裝置，又稱co2 bubbler(二氧化碳發(fā)泡機、二氧化碳鼓泡機)，去離子水電阻率調(diào)節(jié)裝置，加碳機等等。其原理是向高電阻率的純水中添加高純二氧化碳， 在水中產(chǎn)生適量的離子增強純水的導電性，降低純水的電阻率，防止在劃片制程、清洗等半導體、TFT加工過程中產(chǎn)生靜電損傷產(chǎn)品，消除硅屑的靜電吸附便于清洗干凈， 最后烘干后二氧化碳揮發(fā)不殘留任何雜質(zhì)，不造成二次污染。超純水防靜電裝置和設備，可有效控制微電子工業(yè)生產(chǎn)制程中的靜電危害，防止靜電吸附導致產(chǎn)品因靜電放電受到損傷， 防止靜電破壞和微粒子的表面附著，大大提高產(chǎn)品良品率，降低生產(chǎn)成本。

型號：   

ELK-500L、ELK-1000L  、ELK-2000L 、ELK-3000L 、ELK -3500L \ELK-4000L 、ELK-5000L 、ELK-6000L 、ELK-7000L、 ELK-8000L

ELK-10000L、ELK-15000L 、ELK-20000L、ELK-25000L、ELK-30000L

流量范圍：1-100M3/H

適用行業(yè)：

1、 微電路芯片切割和清洗2、光掩膜切割和清洗 3、晶圓切割和芯片清洗 4、半導體硅片切割和清洗5、太陽能電池片切割和清洗 6、TFT面板切割和清洗 7、特殊工業(yè)的控制超純水電阻