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超純水防靜電裝置二氧化碳發(fā)泡機CO2 Bubbler CELL    二氧化碳發(fā)泡機配件 CO2 調(diào)節(jié)器CO2 REGULATAE

恩樂科超純水二氧化碳發(fā)泡機CO2加碳機防靜電裝置二氧化碳注入機co2 bubbler二氧化碳鼓泡機，替代NGK，PRCⅡ-1000ACD  PRCⅡ-2000ACD   PRCⅡ-1200ACD  PRCⅡ-1220ACD  DIC 型號: E-FLOW

DISCO劃片機配套設(shè)備

1、芯片封測廠晶圓劃片割裂防靜電損害 

2、微電路芯片切割和清洗

3、光掩膜切割和清洗

4、半導(dǎo)體硅片切割和清洗

5、TFT面板切割和清洗

6、陶瓷切割和清洗

7、玻璃切割和清洗

超純水用帶電防止器The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II

超純水用帶電防止器（The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II） (日本NGK）

半導(dǎo)體產(chǎn)品制造中，利用超純水清洗時必不可少的設(shè)備。

 概要

通常的精密清洗過程中，往往使用不含離子的超純水進行清洗，這樣超純水很容易產(chǎn)生靜電，是以下的各種產(chǎn)品不良的主要原因。

?由靜電產(chǎn)生電路破壞（靜電擊穿）

?被清洗物表面付著電荷，由靜電吸引產(chǎn)生的微粒子粘著

超純水用靜電防止器（MEGAON II） 利用向超純水中深解二氧化碳?xì)怏w的方式，將電荷導(dǎo)出，達(dá)到除靜電，搞高產(chǎn)品的良品率的目的。

MEGACON

特點

1，通過膜將二氧化碳溶解到超純水中，微粒子的混入危險性小，信設(shè)備信賴性高；

2，采用自動控制系統(tǒng)，流量變動，目標(biāo)水阻值可以達(dá)到精確控制；

3，設(shè)備進出超純水的壓力損失少；

4，歐洲電器標(biāo)準(zhǔn)CE

原理

通過膜裝二氧化碳?xì)怏w溶解到超純水中。

用途

?半導(dǎo)體劃片制程里的清洗

?高壓噴射清洗

?液晶面板清洗

?曝光用MASK清洗

規(guī)格：ELK -500L  、ELK-1000L 、ELK-2000L、ELK-3000L、ELK-4000L、ELK-5000L、ELK-6000L、ELK-7000L、ELK-8000L、ELK-10000L

ELKPURE CO2 bubbler，Ultrapure water anti-static device

model： ELK-500L、ELK-1000L 、ELK-2000L、ELK-3000L、ELK-4000L、ELK-5000L、ELK-6000L、ELK-7000L、ELK-8000L、ELK-10000L

manufacturer: ELKPURE      flow：1000-10000L/H