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CO2bubbler又名二氧化碳發(fā)泡機是一種超純水防靜電裝置，能夠提高超純水的導電性，降低電阻率，避免在切割過程中靜電積聚，消除硅屑、陶瓷屑的靜電吸附。有效控制生產(chǎn)制程中的靜電危害，避免靜電吸附導致產(chǎn)品因靜電放電而受損，降低靜電破壞和微粒子的附著，提高產(chǎn)品良品率，降低生產(chǎn)成本。設備名稱：CO2發(fā)泡機、CO2bubbler、超純水防靜電裝置。

是由深圳市恩樂科環(huán)?？萍加邢薰旧a(chǎn)的高品質(zhì)產(chǎn)品。本系列產(chǎn)品主要用于使用氣體滲透膜模塊向超純水中添加 CO2 以控制超純水的電阻率值，防止因使用超純水時產(chǎn)生靜電而導致的靜電吸附污染及靜電破壞等事故。

.型號：ELK-500L、ELK-1000L、 ELK-2000L、 ELK-3000L、ELK-3500L、ELK-4000L、ELK-5000L、ELK-7000L、ELK-10000L 

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 形體緊湊，結(jié)構(gòu)簡單，故障率低
• 采用引入雜質(zhì)最少的最先進核心專利技術(shù)，保證產(chǎn)水的高品質(zhì)
• 使用方便，操作簡單，調(diào)節(jié)精度高，穩(wěn)定性好
• 耗電少，用氣省，成本低，節(jié)能環(huán)保
• 產(chǎn)品設計壽命長，維修方便

產(chǎn)品效果

• 防止由靜電引起的粉塵靜電吸附
• 防止半導體元件受到靜電破壞

實際用途

• 硅晶圓和芯片切割劃片。
• 硅片清洗。
• 太陽能電池片清洗。
• 液晶面板清洗。
• 光掩膜清洗。